レーザマイクロプローブ質量分析計 スペアナ スペクトラムアナライザ スペクトラムアナライザー スペクトラム解析器 スペクトルアナライザ スペクトルアナライザー スペクトル分析器 スペクトル解析器 トロコイド質量分析器