电子束蚀刻

中

拼音： diàn zǐ shù shí kè
日本語訳電子ビーム描画、電子線リソグラフィー、電子ビーム露光、エレクトロンビームリソグラフィー、電子ビームリソグラフィ、電子線リトグラフィー