电子束平版印刷术

电子束平版印刷术

拼音： diàn zǐ shù píng bǎn yìn shuā shù
日本語訳 電子ビーム描画、電子線リソグラフィー、電子ビーム露光、電子ビームリソグラフィー、エレクトロンビームリソグラフィー、電子ビームリソグラフィ、電子線リトグラフィー