接近式光刻机

日 [せっきんしきひかりきざみつくえ] [sekkinsikihikarikizamitukue]

拼音： jiē jìn shì guāng kè jī
日本語訳プロキシミティー露光装置、プロキミティプリンタ、プロキシミティアライナ