分布型パラアンプ ビームパラメトリック増幅器 リアクタンス増幅器 進行波パラメトリック増幅器 パラメーター増幅器 パラメータ増幅器 パラーター増幅器 電子ビームパラメトリック増幅器 パラメトリック増幅 パラメトリック増幅器