temperature ゾーンメルティング法 フローティングゾーン フローティングーゾーン溶融 浮遊帯溶融法 フローティングゾーン法 フローティングゾーン溶融法 ゾーン溶融法 ゾーン融解法 温度勾配形帯域溶融法