フォトリソグラフィ
日
[ふぉとりそぐらふぃ]
[fotorisogurafi]
フォトリソグラフィ
读成： ふぉとりそぐらふぃ
中文： 照相平版、光学平版刻法、光学制版、光刻术
中文： 照相平版、光学平版刻法、光学制版、光刻术
フォトリソグラフィ
中文： 光刻
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さらに、SiNを成膜し、フォトリソグラフィ、リフトオフなどによりコア部102を形成する（図7（d））。
此外，形成 SiN膜，并且，通过光刻或剥离等形成芯部件 102(图 7D)。
次に、フォトリソグラフィ、エッチングによりコア部の所定位置に凹部を形成し、Alを埋め込み、遮光部106を形成する（図7（c））。
然后，通过光刻和蚀刻在芯部件的预定位置处形成凹陷部分，并且，Al被嵌入其中，从而形成光阻挡部件 106(图 7C)。 - 中国語 特許翻訳例文集
次に、SiNを成膜し、フォトリソグラフィ、リフトオフなどによりコア部102を形成し、SOG成膜およびCMPやエッチバックにより平坦化し、クラッド部103を形成する（図7（b））。
然后，形成 SiN膜，通过光刻和剥离 (lift-off)等形成芯部件 102，形成 SOG膜并且通过 CMP或回蚀刻等执行平坦化，从而形成包层部件 103(图 7B)。 - 中国語 特許翻訳例文集